Ni idapọ pẹlu awọn anfani iṣẹ ṣiṣe okeerẹ ti aṣa Al2O3 ati awọn ohun elo sobusitireti BeO, Aluminiomu Nitride (AlN) seramiki, eyiti o ni iba ina gbigbona giga (itọpa igbona imọ-jinlẹ ti monocrystal jẹ 275W/m ▪k, iṣipopada imooru otutu ti polycrystal jẹ 70 ~ 210W ), Iduro dielectric kekere, olùsọdipúpọ imugboroosi gbona ti o baamu pẹlu ohun alumọni gara kan, ati awọn ohun-ini idabobo itanna to dara, jẹ ohun elo pipe fun awọn sobusitireti iyika ati apoti ni ile-iṣẹ microelectronics.O tun jẹ ohun elo pataki fun awọn paati seramiki igbekalẹ iwọn otutu giga nitori awọn ohun-ini ẹrọ iwọn otutu ti o dara, awọn ohun-ini gbona ati iduroṣinṣin kemikali.
Iṣeduro imọ-jinlẹ ti AlN jẹ 3.26g/cm3, lile MOHS jẹ 7-8, resistivity iwọn otutu yara tobi ju 1016Ωm, ati imugboroja igbona jẹ 3.5 × 10-6 / ℃ (iwọn otutu yara ti 200 ℃).Awọn ohun elo amọ AlN ti ko ni awọ ati sihin, ṣugbọn wọn yoo jẹ ọpọlọpọ awọn awọ bi grẹy, grẹyish funfun tabi ofeefee ina, nitori awọn aimọ.
Ni afikun si iṣesi igbona giga, awọn ohun elo amọ AlN tun ni awọn anfani wọnyi:
1. Ti o dara itanna idabobo;
2. Olusọdipúpọ igbona ti o jọra pẹlu monocrystal silikoni, ti o ga ju awọn ohun elo bii Al2O3 ati BeO;
3. Agbara imọ-ẹrọ giga ati iru agbara ti o ni irọrun pẹlu awọn ohun elo amọ Al2O3;
4. Dede dielectric ibakan ati dielectric pipadanu;
5. Akawe pẹlu BeO, awọn gbona elekitiriki ti AlN seramiki ti wa ni kere fowo nipa otutu, paapa loke 200 ℃;
6. Iwọn otutu ti o ga julọ ati idaabobo ipata;
7. Ti kii ṣe majele;
8. Wa ni lilo si ile-iṣẹ semikondokito, ile-iṣẹ irin-irin kemikali ati awọn aaye ile-iṣẹ miiran.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-14-2023