Ní ìdàpọ̀ pẹ̀lú àwọn àǹfààní iṣẹ́ tó péye ti àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ Al2O3 àti BeO ìbílẹ̀, seramiki Aluminum Nitride (AlN), èyí tó ní ìṣàfihàn ooru tó ga (ìṣàfihàn ooru ti monocrystal jẹ́ 275W/m▪k, ìṣàfihàn ooru ti polycrystal jẹ́ 70~210W/m▪k), ìṣàfihàn ooru tó kéré, ìfàsẹ́yìn ooru tó bá silicon kristali kan ṣoṣo mu, àti àwọn ànímọ́ ìdènà ina tó dára, jẹ́ ohun èlò tó dára fún àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ àti ìpamọ́ nínú ilé iṣẹ́ microelectronics. Ó tún jẹ́ ohun èlò pàtàkì fún àwọn ohun èlò seramiki ìṣètò otutu tó ga nítorí àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ ooru tó ga, àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ ooru àti ìdúróṣinṣin kemikali.
Ìwọ̀n ìwádìí AlN jẹ́ 3.26g/cm3, líle MOHS jẹ́ 7-8, agbára ìdènà iwọ̀n otútù yàrá ju 1016Ωm lọ, àti ìfẹ̀ ooru jẹ́ 3.5×10-6/℃ (iwọ̀n otútù yàrá jẹ́ 200℃). Àwọn seramiki AlN mímọ́ kò ní àwọ̀ àti àwọ̀ tí ó hàn gbangba, ṣùgbọ́n wọ́n ní oríṣiríṣi àwọ̀ bíi grẹ́y, funfun ewé tàbí ofeefee fẹ́ẹ́rẹ́fẹ́, nítorí àwọn àìmọ́ náà.
Ní àfikún sí agbára ìgbóná gíga, àwọn ohun èlò ìṣẹ́dá AlN tún ní àwọn àǹfààní wọ̀nyí:
1. Idabobo ina to dara;
2. Iru iṣipopada igbona ti o jọra pẹlu silikoni monocrystal, ti o ga ju awọn ohun elo bii Al2O3 ati BeO lọ;
3. Agbára ẹ̀rọ gíga àti agbára ìfọ́mọ́ra tó jọra pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìṣẹ́dá Al2O3;
4. Àìdúró dielectric tó wà ní ìwọ̀nba àti pípadánù dielectric;
5. Ní ìfiwéra pẹ̀lú BeO, ìwọ̀n otútù kò ní ipa lórí ìgbóná ooru ti àwọn ohun èlò seramiki AlN, pàápàá jùlọ lórí 200℃;
6. Agbara otutu giga ati agbara ipata;
7. Kò léwu;
8. Kí a lò ó fún ilé iṣẹ́ semiconductor, ilé iṣẹ́ irin kẹ́míkà àti àwọn ẹ̀ka iṣẹ́ míràn.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-14-2023