Agbára Ìparí Seramiki Tí A Fi Teflon Bo – Ilẹ̀ Tí Kò Lẹ́sẹ̀ fún Mímú Wafer Onímọ̀lára

Aṣọ ìparí seramiki tí a fi Teflon (PTFE) bo St.Cera so ohun èlò alumina tí ó lágbára púpọ̀ pọ̀ mọ́ aṣọ ìparí PTFE kan tí ó ní ìrísí ìrísí tí kò ní ìrísí (ní ìwọ̀n 15–30 μm). Aṣọ ìparí náà ní ìwọ̀n ìrísí tí kò pọ̀ rárá (≤0.1), ìdènà kẹ́míkà tí ó dára jùlọ, àti àwọn ànímọ́ tí kò ní ìrísí, tí ó ń dènà ìdènà wafer àti yíyọ ìbàjẹ́ ẹ̀yìn kúrò. Aṣọ ìparí seramiki tí ó wà lábẹ́ rẹ̀ (99.8% Al₂O₃) ní agbára ìfọ́síwájú gíga (361–1000 MPa), ìdènà ìfàsẹ́yìn, àti ìdúróṣinṣin ooru títí dé 260°C (ààlà ìbòrí). Aṣọ ìparí yìí dára fún mímú àwọn wafer onírẹ̀lẹ̀, tín-tín, tàbí tí ó lẹ̀ mọ́ra (fún àpẹẹrẹ, lẹ́yìn ìbòrí photoresist tàbí àwọn ìlànà kẹ́míkà).

Àwọn ìlànà pàtó (tí a gbé ka orí 99.8% Al₂O₃ substrate pẹ̀lú ìbòrí PTFE):

Àkíyèsí: Ìbòrí PTFE dín ìwọ̀n otútù tó pọ̀jù kù sí 260°C; fún àwọn ohun èlò ìgbóná tó ga jù, ronú nípa seramiki tí a kò fi ìbòrí bò tàbí àwọn ìbòrí mìíràn.

Awọn ohun elo:

• · Mimu awọn wafers lẹhin ti a fi awọ ṣe awọ (awọn oju ilẹ ti o le lẹmọ)
• · Gbigbe awọn wafer tinrin tabi ẹlẹgẹ (o n ṣe idiwọ didimu)
• · Àwọn irinṣẹ́ àyẹ̀wò semiconductor àti metrology
• · Aládàáṣe yàrá mímọ́ níbi tí a gbọ́dọ̀ dín ìbàjẹ́ pàtákì kù

Ilana Iṣelọpọ:

A fi ohun èlò ìṣàlẹ̀ seramiki tí a fi omi ṣan àti ilẹ̀ tí kò ní ìpele → ìró ojú ilẹ̀ (ìgbóná plasma tàbí grit blast) → ìbòrí ìfọ́ PTFE → ìtọ́jú ooru ní 380°C → àyẹ̀wò ìkẹyìn. A máa ń ṣàyẹ̀wò olùṣe ìparí kọ̀ọ̀kan fún sisanra ìbòrí (eddy current), ìfàmọ́ra (ìdánwò cross-cut ASTM D3359), àti iye ìfọ́ríra.

Iṣakoso Didara:

Ayẹwo wiwo 100% fun awọn ihò tabi awọn nyoju; ibamu sisanra ti a bo laarin ±5 μm; ko si iyọkuro lẹhin idanwo tẹ 90° lori kupọọnu ẹlẹri. Ayẹwo iwọn si ifarada OEM (gigun ±0.05 mm, fifẹ ≤0.1 mm).

Àwọn àǹfààní lórí àwọn aṣọ tí a kò fi ìbòrí tàbí àwọn aṣọ mìíràn:

• · Ojú tí kò ní lẹ̀ mọ́ ń dènà ìdìpọ̀ wafer àti ìfọ́
• · Ìṣọ̀kan ìfọ́mọ́ra tó kéré jùlọ láàrín àwọn ìbòrí seramiki
• · Agbara kemikali to tayọ (awọn acids, awọn ipilẹ, awọn olomi)
• · Dín ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò kù nípa dídínà ìyípadà ohun èlò

Àwọn ààlà (àwọn àkíyèsí lórí ìyàtọ̀ ohun èlò):

A kò rí ìbòrí PTFE láti inú àwọn tábìlì ohun ìní ohun èlò tí a pèsè (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Àwọn ohun ìní substrate náà tẹ̀lé ìwé àkọsílẹ̀ tí a pèsè (99.8% Al₂O₃). Àwọn ohun ìní ìbòrí náà da lórí àwọn ìlànà PTFE tí ó wà ní ipò ilé-iṣẹ́, nítorí pé a kò pèsè ìbòrí kankan. Fún àwọn ohun èlò tí ó ju 260°C lọ, a gbani nímọ̀ràn láti lo ohun èlò ìbòrí seramiki tí kò ní ìbòrí.

Ṣíṣe àtúnṣe:

Ó wà ní gígùn 150–1500 mm, àwọn ìrísí orí (ìdìmú etí, Bernoulli, pẹ̀lẹ́pẹ̀lẹ́), àwọn àpẹẹrẹ flange tí a fi so mọ́ra gẹ́gẹ́ bí àwòrán OEM. Àwọ̀ apa kan (àwọn agbègbè ìfọwọ́kàn nìkan) tàbí ìbòjú gbogbo rẹ̀ jẹ́ àṣàyàn.

Beere fun ayẹwo fun idanwo ifọmọ ati ikọlu.