Oruka Idabobo Alumina PVD fun Awọn Eto Ifipamọ Afẹfẹ Ti ara

A ṣe òrùka ìdábòbò PVD ti St.Cera láti inú 99.8% alumina gíga-ìmọ́ (Al₂O₃) fún lílò nínú àwọn ètò ìpamọ́ èéfín ti ara (PVD). Òrùka náà ń pese ìyàsọ́tọ̀ iná mànàmáná láàrín àwọn ẹ̀yà yàrá, ó ń dènà ìfàgùn àti rírí i dájú pé ó ń ṣiṣẹ́ ní plasma tí ó dúró ṣinṣin. Àwọn ohun pàtàkì ni agbára dielectric gíga (15×10⁶ V/m), resistance pàtó >10¹⁴ Ω·mm²/m, àti ìdúró gbóná títí dé 1600°C. Àwọn agbára ìṣiṣẹ́ wa tí ó péye ń dé ìwọ̀n ìbú tí ó tó 600mm, ìwọ̀n ìbú tí ó lọ sí 0.2mm, fífẹ̀ 0.003mm, àti ìparí ojú Ra0.1. Òrùka náà kò ní porosity àti àìlera kẹ́míkà ń rí i dájú pé ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún ìgbà pípẹ́ ní àwọn àyíká ìfọ́ oníjàgídíjàgan.

Àwọn ìlànà pàtó (tí a gbé kalẹ̀ lórí 99.8% Al₂O₃& Awọn agbara iṣelọpọ St.Cera):

Awọn ohun elo:

• · Àwọn ohun èlò ìdènà àwo ìfọkànsí nínú àwọn ètò PVD
• · Awọn insulators ifunni yara
• · Àwọn ìdábùú òrùka ààbò nínú àwọn ètò sputtering
• · Ìyàsọ́tọ̀ folti giga ninu awọn yara plasma

Iṣelọpọ Pípé:

Ìwọ̀n ìṣọ̀kan: 0.01mm, ìyípo: 0.002mm, ìtọ́sọ́nà: 0.005mm, ìtẹ̀síwájú: 0.005mm, CMM jẹ́rìí sí i.

AAwọn anfani lori awọn insulators polymer:

• · Ó dúró ṣinṣin pẹ̀lú ààlà 1600°C àti àwọn polymers <300°C
• · Kò sí ìgbóná tí ń jáde – ó ń tọ́jú ìdúróṣinṣin afẹ́fẹ́
• · Dídènà ìfọ́ omi inú ẹ̀jẹ̀ àti ìkọlù kẹ́míkà

Ṣíṣe àtúnṣe:

Àwọn apá àdánidá, àwọn ẹ̀yà ìfìsípò, àwọn ìpìlẹ̀ ìgbésẹ̀, àti ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn àpẹẹrẹ òrùka concentric tó wà.