Alumina Seramiki Alumina Mímọ́ Gíga fún Àwọn Ohun Èlò Semiconductor
A ṣe àgbékalẹ̀ ìpìlẹ̀ seramiki alumina ti St.Cera láti inú Al₂O₃ tó ga jùlọ, ó ní agbára dielectric tó tayọ (15×10⁶ V/m), ìdúróṣinṣin ooru tó tó 1600°C, àti ìdènà gígì lábẹ́ ẹrù. A ń lo àwọn ohun èlò wọ̀nyí gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò ìṣètò nínú àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ ooru gíga, àwọn ìpìlẹ̀ ìgbóná, àwọn ohun èlò ìbòrí yàrá plasma, àti àwọn ohun èlò ìdáàbòbò iná mànàmáná. Líle gíga ohun èlò náà (16 GPa) àti ìfàmọ́ra omi díẹ̀ (0%) ń rí i dájú pé ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún ìgbà pípẹ́ ní àwọn àyíká líle koko.
Àwọn ìlànà pàtó(da lori 99.8% Al₂O₃):
| Ohun ìní | Iye |
| Ohun èlò | 99.8% Alumina (Ivory) |
| Ìwọ̀n | 3.93 g/cm³ |
| Agbára Rírọ̀ | 361 MPa |
| Agbara ìfọ́ | 3–4 MPa·m¹/² |
| Líle Vickers | 16 GPA |
| Modulu Young | 380 GPA |
| Ìgbékalẹ̀ Ooru | 32 W/m·k |
| Ìfàsẹ́yìn Ooru (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Agbára Dielectric | 15×10⁶ V/m |
| Atakora Pataki | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ | 1600°C |
Awọn ohun elo:
- · Inu itutu fun awọn reactors epitaxial
- · Àwọn àwo ìbòrí yàrá plasma àti àwọn àwo ìbòrí
- · Àwọn ohun èlò ìdáná iná mànàmáná tó ga jùlọ
- · Ipìlẹ̀ ìdúró fún àwọn roboti tí ń mu wafer
Iṣelọpọ:
Isostatic titẹ → alawọ ewe machining → sintering ni 1600°C → CNC grinding si awọn iwọn ikẹhin (±0.01 mm ifarada). A ṣe ayẹwo mojuto kọọkan nipasẹ CMM ati wiwa abawọn ultrasonic.
Didara ìdánilójú:
ISO 9001:2015 ni a fọwọ́ sí. Idanwo wíwọlé àwọ̀ fún àwọn ìfọ́ ojú ilẹ̀; ìdánwò agbára dielectric gẹ́gẹ́ bí ASTM D149 ṣe sọ.
AAwọn anfani lori awọn ohun elo seramiki miiran:
- · Agbára dielectric tó ga ju zirconia lọ (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Iye owo kekere ju SiC lọ fun awọn ohun elo ti kii ṣe plasma
- · Agbara kemikali to dara julọ si awọn halogens (ayafi HF)
Àwọn Àwòrán Àṣà:
Àwọn sílíńdà, ọ̀pá onígun mẹ́rin, àwọn àwo, tàbí àwọn onípele onípele. Ìwọ̀n ẹ̀yà ara tó kéré jùlọ 0.5 mm.
Kan si wa fun awọn apẹrẹ mojuto aṣa ati atilẹyin iṣedaṣe gbona.
