Alumina Ceramic Effector pẹlu Integrated Vacuum Channels
Ẹ̀rọ ìfàsẹ́yìn alumina vacuum ti St.Cera ń so àwọn ikanni vacuum tí a fi ẹ̀rọ ṣe àti àwọn ihò fífà sínú ara alumina tí ó ní ìmọ́tótó gíga 99.8%. Apẹẹrẹ yìí ń mú àwọn pádì vacuum tí ó wà níta kúrò, èyí tí ó ń jẹ́ kí a gba wafer direct pickup pẹ̀lú agbára ìdúróṣinṣin kan náà. Agbára flexural gíga ti ohun èlò náà (361 MPa) àti líle (16 GPa) ń rí i dájú pé ó dúró ṣinṣin ní ìwọ̀n gígùn lábẹ́ àwọn ìyípo vacuum tí a ń tún ṣe. A ń pa ibi tí a fi pad ṣe mọ́ láàrín 10 μm, èyí tí ó ń dènà wahala wafer àti ìfọ́. Àwọn ibùdó vacuum wà ní flange ìfìkọ́lé ẹ̀yìn fún ìsopọ̀ pẹ̀lú àwọn apá robot OEM.
Àwọn ìlànà pàtó(da lori 99.8% Al₂O₃):
| Ohun ìní | Iye |
| Ohun èlò | 99.8% Alumina (Ivory) |
| Ìwọ̀n | 3.93 g/cm³ |
| Agbára Rírọ̀ | 361 MPa |
| Líle Vickers | 16 GPA |
| Modulu Young | 380 GPA |
| Ìfẹ̀sí gbígbóná | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Páàdì Pípẹ́ | ≤10 μm |
| Fífẹ̀ Ikanni Igbale | 0.5–2.0 mm |
| Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ | 800°C |
Awọn ohun elo:
● Gbígbé àwọn wáfárì tín-tín tàbí tí ó yípadà kúrò nínú ìfọ́mọ́
● Mimu wafer taara laisi mimu eti
● Gbigbe sẹẹli oorun ati ipilẹ LED
Iṣelọpọ:
Alumina alumina tí a ti fi iná bò → CNC axis 5-axis ti awọn ikanni ati awọn ihò → lapping dada → mimọ ultrasonic → idanwo jijo helium. A ṣe idanwo fun sisan kọọkan fun iṣọkan afẹfẹ.
Àwọn àǹfààní:
● Kò sí àwọn pádì ìfọ́mọ́ra tí ó wà níta (ó ń dín àwọn orísun pàǹtíkù kù)
● Ìfúnpá dídì aṣọ kan náà ń dènà àmì ìfàmìsí wafer
● Yàrá mímọ́ àti kẹ́míkà bá ara mu
