Àwọn Ẹ̀yà Seramiki Alumina Ailewu ESD fún Mímú Wafer Onímọ̀lára Láìdúró
Àwọn ẹ̀yà seramiki alumina tó ní ààbò ESD (electrostatic discharge) tí St.Cera ṣe ni a fi 99.8% Al₂O₃ tó ní ìmọ́tótó gíga, tí a ṣe nípasẹ̀ ìlànà doping tàbí coating. Àwọn ẹ̀yà wọ̀nyí máa ń tú agbára ìdúróṣinṣin kúrò, wọ́n sì ń dènà ìbàjẹ́ electrostatic sí àwọn wafers semiconductor tó ní ìmọ̀lára àti àwọn ẹ̀rọ. Ohun èlò ìpìlẹ̀ náà máa ń ní agbára ìfọ́mọ́ra gíga (361 MPa), líle (16 GPa), àti agbára dielectric (15×10⁶ V/m). Àwọn ẹ̀yà seramiki tó ní ààbò ESD ní àwọn ohun èlò ìparí, àwọn pinni gbígbé, àwọn irin ìtọ́sọ́nà, àti àwọn ohun èlò àdáni fún ìdánilẹ́kọ̀ọ́ FAB.
Àwọn ìlànà pàtó(da lori 99.8% Al₂O₃ pẹlu itọju ESD):
| Ohun ìní | Iye |
| Ohun elo ipilẹ | 99.8% Alumina |
| Agbara Resistance Dada (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| Ìwọ̀n | 3.93 g/cm³ |
| Agbára Rírọ̀ | 361 MPa |
| Líle Vickers | 16 GPA |
| Modulu Young | 380 GPA |
| Ìfàsẹ́yìn Ooru (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ | 800°C |
| Agbára Dielectric (pupọ) | 15×10⁶ V/m |
Àkíyèsí: A kò pèsè ìdènà ojú ilẹ̀ ESD nínú àwọn tábìlì ohun èlò tí a pèsè. Ìwọ̀n tí ó wà lókè yìí jẹ́ ìwọ̀n ilé-iṣẹ́ fún àwọn ohun èlò amọ̀ tí ń tú jáde. Jọ̀wọ́ kàn sí wa fún àwọn ìròyìn ìdánwò.
Awọn ohun elo:
● Àwọn olùṣe ìparí ESD tí ó ní ààbò fún ìyípadà wafer
● Àwọn píìnì ilẹ̀ àti àwọn ohun èlò ESD nínú ohun èlò FAB
● Ṣe ìdánwò àwọn ihò ìtẹ̀sí fún àwọn ẹ̀rọ tí ó ní ìmọ̀lára àìdúró
● Àwọn irinṣẹ́ yàrá mímọ́ níbi tí ìṣàkóso àìdúró ṣe pàtàkì
Iṣelọpọ & Didara:
Ìtọ́jú alumina déédé + ìtọ́jú ojú ilẹ̀ ESD → ìdènà ojú ilẹ̀ tí a wọ̀n gẹ́gẹ́ bí ANSI/ESD STM11.11. A fi electrode òrùka concentric dán apá kọ̀ọ̀kan wò 100%.
Àwọn àǹfààní:
● Ó ń dènà àdánù ìwúwo tó ní í ṣe pẹ̀lú ESD
● Ó ń pa agbára ẹ̀rọ seramiki mọ́ àti agbára ìdènà kẹ́míkà
● Ko si iran patiku lati inu itusilẹ ti ko duro
