Pin Atilẹyin Seramiki fun Awọn Ohun elo Ilana Semiconductor
Àwọn píìnì àtìlẹ́yìn seramiki ti St.Cera (tí a tún mọ̀ sí àwọn píìnì àtìlẹ́yìn tàbí àwọn píìnì àtìlẹ́yìn) ni a ń lò nínú àwọn yàrá ìṣiṣẹ́ semiconductor láti gbé àwọn píìnì tàbí àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ sókè nígbà tí a bá ń lò wọ́n, tí a ń gbóná wọn, tàbí tí a ń tutù. A ṣe wọ́n láti inú 99.8% alumina tàbí silicon nitride, àwọn píìnì wọ̀nyí ní agbára ìfúnpọ̀ gíga, ìdúróṣinṣin ooru, àti ìdènà kẹ́míkà. Apẹrẹ ìpele hemispherical tàbí flat ń dènà ìfọ́ wafer.
Àwọn ìlànà pàtó(Alumina 99.8%):
| Ohun ìní | Iye |
| Ohun èlò | 99.8% Al₂O₃ tàbí Si₃N₄ |
| Gígùn | 10 – 100 mm |
| Iwọn opin | 1 – 10 mm |
| Apẹrẹ Ipọ́n | Pẹpẹ, onigun mẹ̀rin, onígun mẹ̀rin |
| Agbára Ìfúnpọ̀ (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ (Al₂O₃) | 1600°C |
| Ipari oju ilẹ | Ti a fi iyipo (Ra ≤0.4 μm) |
| Ifarada lori Iwọn | ±0.01 mm |
Awọn ohun elo:
Gbé àwọn pinni sókè nínú àwọn yàrá CVD/PVD
Awọn pinni atilẹyin fun yan awo gbona
Àwọn ètò ìrànlọ́wọ́ káàdì ìwádìí
Àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi oníná quartz
Iṣelọpọ:
Lilọ laini aarin ti konge ti OD → lilọ okuta iyebiye ti profaili ipari → mimọ ultrasonic → Ayẹwo iwọn 100%.
Iṣakoso Didara:
CMM fún gígùn/ìwọ̀n, afiwéra opitika fún rédíọ̀mù orí, ìdánwò ẹrù láti jẹ́rìísí agbára ìfúnpọ̀ (àyẹ̀wò àìròtẹ́lẹ̀ fún ìpín kọ̀ọ̀kan). Kò sí ìbàjẹ́ ferromagnetic (tí a fi oofa ṣe ìwádìí rẹ̀).
Àwọn àǹfààní lórí àwọn Pinni Irin tàbí Quartz:
Ìgbésí ayé tó gùn jù ti irin alagbara lọ ní ìgbà márùn-ún
Ko si idoti irin ninu yara ilana
Agbara iwọn otutu ti o ga ju quartz lọ (1600°C vs 1100°C)
Oju ti ko ni didan (idinku asopọ patikulu)
Ṣíṣe àtúnṣe:
Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ìpìlẹ̀ orí, ìpìlẹ̀ onígun mẹ́rin, tàbí ọ̀pá onígun mẹ́rin.
A tun pese awọn pinni SiC fun awọn agbegbe pilasima ti o nira.
