Irin-irin ti a fi irin ṣe fun SiC vacuum Chuck fun mimu Wafer ti o yipo ati tinrin

Ẹ̀rọ ìfọṣọ onírin St.Cera ń so ìpele seramiki onírin carbide silicon carbide (SiC) pọ̀ mọ́ ìpìlẹ̀ irin tí a fi irin ṣe (aluminiomu tàbí irin alagbara). Ohun èlò SiC onírin (bulu-dudu, porosity 35–40%, iwọn ihò 20–30 μm, permeability 60 ml/cm²·min) ń pese ìpínkiri onírin, onírẹ̀lẹ̀ lórí gbogbo ojú wafer, ó ń mú kí àmì etí kúrò ó sì ń jẹ́ kí ìtìlẹ́yìn tí kò ní ìfọwọ́kàn wà fún àwọn wafer tín-ín-rín (≤100 μm) tàbí àwọn wafer tí ó yípo. Ìpele SiC náà ń fúnni ní ìfẹ̀sí ooru kékeré (3.5×10⁻⁶/℃), ìdúróṣinṣin ooru títí dé 1000°C, àti agbára flexural díẹ̀ (32–35 MPa). Ìpìlẹ̀ irin náà ń fi ìdúróṣinṣin ìṣètò kún un, fífọ àwọn ihò onírin, àti ààbò lòdì sí ìfọ́ tí ó já. Ẹ̀rọ yìí dára fún lílọ ẹ̀yìn, dídín, àti ṣíṣe wafer oníwọ̀n otutu gíga níbi tí ìfọṣọ àti ìbáramu ooru ti jẹ́ pàtàkì.

Àwọn ìlànà pàtó (dá lórí ìwífún SiC oníhò tí a pèsè):

Àkíyèsí: Agbára ìfọ́mọ́ra kéré sí SiC tó nípọn nítorí ihò. Àwọn ànímọ́ ìpìlẹ̀ irin kì í ṣe láti inú àwọn tábìlì seramiki.

Awọn ohun elo:

• · Lilọ awọn wafers tinrin lẹhin (≤100 μm)
• · Ìfìkọ́lé wafer tí a yípo fún dídì
• · Ṣíṣe àgbékalẹ̀ wafer tí ó ní iwọ̀n otutu gíga (títí dé 1000°C)
• · Fífi afẹ́fẹ́ sí ibi ìfọṣọ fún àwọn ohun èlò tí ó ní ihò tàbí tí ó jẹ́ aláìlera

Iṣelọpọ:

Àwo SiC oníhò (tí a ṣe pẹ̀lú àwọn ohun èlò ihò, tí a fi síntì) → tí a fi sí pẹ̀lẹ́pẹ̀lẹ́ ≤10 μm → ìpìlẹ̀ irin tí a fi àwọn ibùdó afẹ́fẹ́ àti àwọn ohun èlò ìsopọ̀ ṣe → ìsopọ̀ epoxy tàbí ìdènà ẹ̀rọ → ìdánwò jíjó helium.

Iṣakoso Didara:

• · Ìwọ̀n ihò àti ihò tí SEM ti fi ìdí rẹ̀ múlẹ̀
• · Idanwo ayeraye (sisan afẹfẹ)
• · Ìwọ̀n fífẹ̀ pẹ̀lú ẹ̀rọ amúlétutù lésà
• · Ìwọ̀n jíjò helium <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

Awọn anfani lori awọn ohun elo seramiki ti a fi sinu Grooved tabi Dense:

• · Kò sí àmì wafer – ìgbálẹ̀ kan náà láìsí àwọn ihò ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀
• · Àwọn ihò ara ẹni tí ó ń fọ ara rẹ̀ mọ́ – ìdínkù ìdínkù
• · Ó ń tọ́jú àwọn wáfárì onígun mẹ́rin tí ó yípo (tó tó 500 μm bow)
• · Ipìlẹ̀ irin ń dènà ìfọ́ tí ó bàjẹ́ ó sì ń mú kí ìṣọ̀kan rọrùn

Awọn idiwọn:

• · Agbára ìfàsẹ́yìn tó kéré (32–35 MPa) – yẹra fún ìkọlù tí ń kó ipa
• · Iwọn otutu iṣiṣẹ ti a fi opin si 1000°C (SiC onihoho), ṣugbọn asopọ epoxy ipilẹ irin ni opin si ≤200°C ayafi ti a ba fi ẹrọ dimu mọra.
• · Kìí ṣe fún èéfín onítẹ̀sí gíga (ìrísí ihò tó ní ihò dín ìyàtọ̀ èéfín tó pọ̀ jù)

Ṣíṣe àtúnṣe:

• · Ìpìlẹ̀ irin: aluminiomu (fọ́nrán), irin alagbara (o le ko ipata), Invar (ìfàsẹ́yìn kékeré)
• · Ìsopọ̀mọ́ra: epoxy (≤200°C) tàbí ìdènà ẹ̀rọ (tó 500°C)
• · Oruka ìdìmú etí fún ìṣàkóso ibi ìgbálẹ̀ agbègbè

Jọ̀wọ́ ẹ kíyèsí: Agbára ìfọ́ tí a pèsè (32–35 MPa) kéré gan-an ju àwọn ohun èlò amọ̀ tí ó nípọn lọ nítorí ihò tí ó ní ihò. Fi ọwọ́ rẹ mú pẹ̀lẹ́pẹ̀lẹ́ láti yẹra fún pípa etí.