Alumina Alumina Aṣepari Ipari Igbẹhin Giga fun Awọn Roboti Wafer

A fi ẹ̀rọ ìlọ ẹ̀rọ alumina seramiki ti St.Cera ṣe ẹ̀rọ ìlọ ẹ̀rọ alumina seramiki láti inú 99.8% ìwẹ̀nùmọ́ gíga Al₂O₃ nípa lílo ẹ̀rọ ìlọ ẹ̀rọ CNC onípele márùn-ún tó ti pẹ́. Àwọn agbára ìṣelọ́pọ́ wa pẹ̀lú àwọn ẹ̀rọ ìlọ ẹ̀rọ amúṣẹ́ṣe tí ó péye àti àwọn ibi iṣẹ́ ẹ̀rọ CNC, èyí tí ó mú kí àwọn ẹ̀rọ amúṣẹ́ṣe tí ó ní ìpele gíga pẹ̀lú ìpele gíga. Ẹ̀rọ ìlọ ẹ̀rọ náà ní ìrísí tín-tín (tó tó 1.5 mm) pẹ̀lú etí iwájú fún fífi wafer tí ó rọrùn. Ohun èlò náà pèsè ìdúróṣinṣin gíga (modulu Young's 380 GPa), ìdènà ìfàmọ́ra tí ó dára, àti ìdúróṣinṣin ooru títí dé 800°C. A fi ẹ̀rọ kọ̀ọ̀kan ṣe ìlẹ̀mọ́ kí ó lè ní 0.003mm, ìfarajọra 0.002mm, àti ìparí ojú ilẹ̀ ti Ra0.1, èyí tí ó ń rí i dájú pé a so wafer pọ̀ déédé àti pé a kò fi patiku ṣiṣẹ́ ní àyíká semiconductor FAB. Ó wà ní gígùn láti 150 mm sí 450 mm, pẹ̀lú àwọn geometries onípele àdáni (ìdìmú etí, Bernoulli, alapin) àti àwọn flanges tí a fi ń so mọ́ àwọn robot OEM. Àwọn àṣàyàn ìparí ojú ilẹ̀ pẹ̀lú ìbòrí tí a fi àwọ̀ ṣe, tí a fi dídán, tàbí ESD tí a fi ń pín in (10⁶–10⁹ Ω/sq).

Àwọn ìlànà pàtó (tí a gbé kalẹ̀ lórí 99.8% Al₂O₃& Awọn agbara iṣelọpọ St.Cera):

Awọn ohun elo:

• · Gbigbe Wafer ninu awọn roboti afẹfẹ ati afẹfẹ
• · Awọn olupilẹṣẹ ipari adaṣe FAB fun awọn wafers 200mm/300mm
• · Mimu wafer tinrin (pẹlu aṣayan ESD)

Awọn Agbara Iṣelọpọ:
Awọn ẹrọ lilọ ti o peye wa ati awọn ile-iṣẹ ẹrọ CNC ngbanilaaye iṣelọpọ awọn paati seramiki ti o nipọn pẹlu:

• · Gígùn iṣẹ́ tó pọ̀ jùlọ: 1500mm
• · Iwọn opin ita ti o pọ julọ: 600mm
• · Iwọn opin inu ti o kere ju: 0.2mm
• · Sisanra to pọ julọ: 100mm

Iṣakoso Didara:
Ìtọ́sọ́nà 0.005mm, ìtẹ̀síwájú 0.005mm, ìyípo 0.002mm, ìfarajọra 0.002mm, ìṣọ̀kan 0.01mm, CMM jẹ́rìí sí ìṣọ̀kan 0.01mm. A fi ultrasonic fọ gbogbo ẹ̀rọ náà, a sì fi Class 100 cleanroom dì í.