Ẹ̀rọ ìpamọ́ alumina 12-Inch fún ìtọ́jú wafer 300mm

A ṣe àgbékalẹ̀ ìfọ́mọ́ ìfọ́mọ́ ìyẹ́n 12 ti St.Cera láti inú alumina gíga-gíga (Al₂O₃) fún mímú wafer 300mm. Iṣẹ́ náà ní ojú ilẹ̀ tí a fi àlàfo gún (ìwọ̀n ihò 0.5–1.0 mm, ìpele 2–3 mm) láti rí i dájú pé a pín in sí gbogbo ìwọ̀n 300mm. A ń tọ́jú rẹ̀ dáadáa láàrín 5 μm, èyí tí ó ń jẹ́ kí a lè fi wafer tí kò ní ìfọ́mọ́ nígbà tí a bá ń gé e, tí a ń lọ̀ sí ẹ̀yìn, àti tí a ń ṣe àyẹ̀wò rẹ̀. Agbára ìfọ́mọ́ ìfọ́mọ́ ìyẹ́n gíga ti ohun èlò náà (361 MPa) àti líle (16 GPa) ń ṣe ìdánilójú ìdúróṣinṣin oníwọ̀n ìgbà pípẹ́ kódà lábẹ́ àwọn ìyípo ìfọ́mọ́ tí a ń tún ṣe.

Àwọn ìlànà pàtó (tí a gbé ka orí 99.8% Al₂O₃):

Awọn ohun elo:

Dicing ati kikọ wafer 300mm
Lílọ ẹ̀yìn ẹ̀gbẹ́ wafer (àtìlẹ́yìn wafer tín-ín-rín)
Àyẹ̀wò ojú àti ìwádìí
Àwọn ohun èlò ìsopọ̀mọ́ra ìgbà díẹ̀/dínkù

Iṣelọpọ:

A fi CNC lẹ̀ wọ́n, a sì fi ẹsẹ̀ rẹ̀ tẹ̀ ẹ́ títí dé ibi tí ó tẹ́jú, a fi àwọn kẹ̀kẹ́ dáyámọ́ǹdì sí i, a sì fi ultrasonic cleanser wẹ̀ wọ́n, a sì fi sínú yàrá ìwẹ̀nùmọ́ Class 100. A ṣe àyẹ̀wò gbogbo chuck náà fún fífẹ̀ (interferometer laser) àti jíjìn ihò (profilometer).

Àwọn àǹfààní:

Ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò ìpakúpa kékeré (≤0.05 àwọn ohun èlò/cm²)

Tí ó jẹ́ pé ó ń ṣiṣẹ́ láìsí kẹ́míkà sí àwọn ohun olómi àti àwọn ásíìdì

Ibi tí ó ní ààbò ESD (ìdènà àìlera >10¹³ Ω·cm)

Àwọn àpẹẹrẹ ihò ìgbálẹ̀ àdáni àti àwọn ibùdó ẹ̀yìn wà.