Alumina-Da lori iho seramiki igbale Chuck fun Tinrin Wafer mimu
A ṣe àwokòtò oníhò tí a fi alumina ṣe láti inú 99.6% Al₂O₃ tí ó ní ìmọ́tótó gíga pẹ̀lú ihò tí a ṣàkóso tí ó jẹ́ 30–45% àti ìwọ̀n ihò tí ó dọ́gba láti 10 sí 50 μm. Láìdàbí àwọn ihò oníhò, ojú ilẹ̀ tí ó ní ihò náà ń pèsè ìfọ́mọ́ tí a pín káàkiri gbogbo ẹ̀yìn wafer, èyí tí ó ń mú kí àmì etí kúrò, ó sì ń jẹ́ kí ó rọrùn láti di àwọn wafer tín-tín (≤100 μm) tàbí àwọn wafer tí ó yípo mú. Ohun èlò náà ń fúnni ní agbára ìfọ́mọ́ ≥250 MPa àti ìdúróṣinṣin ooru títí dé 400°C nínú afẹ́fẹ́.
Àwọn ìlànà pàtó(da lori 99.6% Al₂O₃):
| Ohun ìní | Iye |
| Ohun èlò | 99.6% Alumina (Funfun) |
| Porosity | 30–45% (a le ṣatunṣe) |
| Ìwọ̀n Àárín Póólù | 10–50 μm |
| Agbára Rírọ̀ | ≥250 MPa |
| Ìwọ̀n | 3.88 g/cm³ |
| Pípẹ́ (ju 200mm lọ) | ≤5 μm |
| Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ | 400°C (afẹ́fẹ́) |
| Ipari oju ilẹ | Ti a fi iyipo (Ra ≤0.8 μm) |
Awọn ohun elo:
- · Wáfà onírin (≤50 μm) ní ẹ̀yìn lílọ
- · Ìfìkọ́lé wafer tí a yípo fún dídì
- · Gbigbe awọn ohun elo ti a fi si ara ẹni
- · Mimu ohun elo gilasi mu
Iṣelọpọ:
A da lulú pọ̀ mọ́ àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra → ìtẹ̀sí isostatic → síntering ní 1600°C → títẹ̀ sí i títí dé ìwọ̀n tó yẹ. A dán ìṣàn kọ̀ọ̀kan wò fún ìṣọ̀kan ìgbàfẹ́ (ìyàtọ̀ ìfúnpá <5%) a sì ṣe àyẹ̀wò fún ìpínkiri ìwọ̀n ihò (SEM).
Awọn anfani lori awọn chucks ibile:
- · Kò sí àmì ẹ̀yìn wafer tàbí ìyípadà díẹ́
- · Ó di àwọn wáfárì mú pẹ̀lú ìtẹ̀gùn tó tó 500 μm
- · Ojú ilẹ̀ tí ó ń fọ ara rẹ̀ mọ́ (àwọn ihò kò lè dí mọ́)
- · Ìrànlọ́wọ́ aṣọ kan náà mú wahala agbègbè kúrò
Cisọdiwọn:
Àwọn ìrísí yíká tàbí onígun mẹ́rin, ìwọ̀n ìbú wọn jẹ́ 100–450 mm. Òrùka ìdìmú etí wà fún ìṣàkóso afẹ́fẹ́ tí a pín sí agbègbè.
Beere fun apẹẹrẹ fun iwọn wafer kan pato rẹ.
