Alumina Vacuum Chuck fun konge Dicing & Lilọ
A ṣe ẹ̀rọ amúlétutù alumina ti St.Cera láti inú Al₂O₃ tó ga jùlọ pẹ̀lú àwọn ihò ìfọ́mọ́ tí a fi ẹ̀rọ ṣe. Agbára ìfọ́mọ́ wa tó péye ń ṣe àṣeyọrí 0.003mm àti 0.002mm tó jọra, èyí tó ń rí i dájú pé a kò fi wafer tí ó wà ní ìfọ́mọ́ nígbà tí a bá ń gé e, tí a ń lọ̀ ẹ̀yìn, àti tí a ń ṣe àyẹ̀wò rẹ̀. Ohun èlò náà ní agbára ìfọ́mọ́ tó ga (361 MPa), líle (16 GPa), àti ìdúróṣinṣin ooru tó dé 800°C. Ó wà ní àwọn ìrísí yíká tó dé 600mm ní ìbú ààlà (OD) àti àwọn ìrísí onígun mẹ́rin tó dé 1500mm. A ṣe àwọn ihò ìfọ́mọ́ tó yàtọ̀ síra (àwọn ìrísí onígun mẹ́rin, radial, tàbí grid) láti bá àwọn ohun tí a nílò mu. A máa ń fi ẹ̀rọ amúlétutù lésà ṣe àyẹ̀wò ẹ̀rọ kọ̀ọ̀kan, a sì máa ń fi ìròyìn ìfẹ̀sẹ̀ múlẹ̀ pè é.
Àwọn ìlànà pàtó (tí a gbé kalẹ̀ lórí 99.8% Al₂O₃& Awọn agbara iṣelọpọ St.Cera):
| Ohun ìní | Iye |
| Ohun èlò | 99.8% Alumina (Ivory) |
| Ìwọ̀n | 3.93 g/cm³ |
| Agbára Rírọ̀ | 361 MPa |
| Líle Vickers | 16 GPA |
| Iwọn opin ita (pupọ julọ) | 600mm |
| Sisanra (pupọ julọ) | 100mm |
| Gígùn (tó pọ̀ jùlọ) | 1500mm |
| Pípẹ́típẹ́tí | 0.003mm |
| Ifarajọra | 0.002mm |
| Ipari oju ilẹ | Ra0.1 |
| Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ | 800°C |
Awọn ohun elo:
- · Ṣíṣe àgbékalẹ̀ àti kíkọ àwọn ohun èlò ìkọ̀wé (200mm/300mm àti jù bẹ́ẹ̀ lọ)
- · Lilọ awọn wafers tinrin ni ẹhin
- · Àyẹ̀wò àti ìwádìí ojú
- · Mimu substrate nla
Iṣelọpọ Pípé:
- · Ìtọ́sọ́nà: 0.005mm
- · Ìdúróṣinṣin: 0.005mm
- · Yíyípo: 0.002mm
- · Ìwọ̀n ìṣọ̀kan: 0.01mm
