Alumina-Da Standard Vacuum Chuck – High Rigidity fun konge machining
A ṣe àgbékalẹ̀ ìfọ́mọ́ tí a fi alumina ṣe yìí láti inú 99.8% Al₂O₃, ó sì ní ojú tí kò ní ihò pẹ̀lú àwọn àpẹẹrẹ ìfọ́mọ́ tí a ṣe ní pàtó. Ó pèsè ìfaradà àrà ọ̀tọ̀ (Young's modulus 380 GPa) àti fífẹ̀ (≤3 μm), èyí tí ó mú kí ó dára fún lílọ ní kíkún, fífẹ̀, àti pípa àwọn wafer semiconductor àti àwọn èròjà opitika. Ìfaradà ooru gíga tí ohun èlò náà ní (32 W/m·k) ń rí i dájú pé ìwọ̀n otútù náà dọ́gba nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́.
Àwọn ìlànà pàtó(da lori 99.8% Al₂O₃):
| Ohun ìní | Iye |
| Ohun èlò | 99.8% Alumina (Ivory) |
| Ìwọ̀n | 3.93 g/cm³ |
| Agbára Rírọ̀ | 361 MPa |
| Líle Vickers | 16 GPA |
| Modulu Young | 380 GPA |
| Ìgbékalẹ̀ Ooru | 32 W/m·k |
| Pípẹ́típẹ́tí | ≤3 μm (ju 200mm lọ) |
| Ríru ojú (ẹ̀gbẹ́ ìdìpọ̀) | Ra ≤0.4 μm |
| Iwọn otutu iṣiṣẹ to pọ julọ | 800°C |
Awọn ohun elo:
- · Lilọ ẹhin wafer (aláìlágbára àti dídán)
- · Ìpín àwọn ohun èlò tí ó ní ìfọ́
- · Lílo àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ seramiki
- · Ṣíṣe àtúnṣe lẹ́ńsì optíkì
Iṣelọpọ:
Ìlànà pípéye ti àwọn ẹ̀gbẹ́ méjèèjì → yíyí dáyámọ́ǹdì (àṣàyàn) → yíyípo etí → ìwẹ̀nùmọ́ ultrasonic → Àyẹ̀wò pẹ̀lẹ́pẹ̀lẹ́ 100% pẹ̀lú ẹ̀rọ ìbánisọ̀rọ̀ lésà.
Aàwọn àǹfààní:
- · Atilẹyin lile dinku iyipada labẹ ẹru
- · Ko si iran awọn patiku lati inu eto ti o ni iho
- · Rọrùn láti nu (ó lè bá solvent-wipe mu)
- · Àwọn ihò ìfọ́mọ́ tí a lè ṣe àtúnṣe (concentric, radial, àwọn àpẹẹrẹ àdáni)
Àwọn ìwọ̀n tó wà:
Yipo: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; onigun mẹrin/onigun mẹrin ti a ba beere fun.
A tun n pese awọn ẹya ti a fi irin ṣe fun agbara ẹrọ ti o ga julọ.
