Òrùka Seal Alumina Alumina Aláìléwu Gíga fún Ìdìdì Iyẹwu Gíga Gíga

A ṣe òrùka seramiki ti St.Cera gẹ́gẹ́ bí àyípadà sí àwọn òrùka O-polymer ní àwọn àyíká tí ó le koko níbi tí àwọn elastomers ti ń ba jẹ́. A ṣe òrùka seal líle yìí láti inú 99.8% alumina oníwà mímọ́ gíga (Al₂O₃), a ń lo òrùka seal líle yìí nínú àwọn ohun èlò seal tí kò dúró — tí a sábà máa ń so pọ̀ mọ́ gasket irin rírọ̀ tàbí graphite — láti pèsè ìdènà afẹ́fẹ́ tàbí gáàsì tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ní àwọn iwọ̀n otútù tó dé 800°C àti ní àwọn àyíká plasma tàbí kẹ́míkà oníjàgídíjàgan. Ohun èlò náà ní agbára ìjákulẹ̀ tí kò ní ìjákulẹ̀, agbára ìfúnpọ̀ gíga (agbára flexural tí ó wà lábẹ́ 361 MPa), àti àìlera kẹ́míkà (tí ó le kojú àwọn halogens, acids, àti alkalis àyàfi HF). Àwọn ojú ìdè tí a fi ìlà ṣe (pípẹ́ ≤5 μm, àìlera ojú Ra ≤0.2 μm) ń rí i dájú pé ó ní ìfọwọ́sowọ́pọ̀ pẹ̀lú àwọn èròjà irin tàbí seramiki tí ó ní ìbáṣepọ̀.

Àwọn ìlànà pàtó(da lori 99.8% Al₂O₃):

Awọn ohun elo:

• · Àwọn ìdìpọ̀ ìṣàpẹẹrẹ Semiconductor (CVD, PVD, etch)
• · Àwọn ìdènà ìlẹ̀kùn ààrò oníwọ̀n otútù gíga
• · Àwọn flanges ìfàsẹ́yìn vacuum
• · Àwọn ìdènà ọkọ̀ ojú omi oníkẹ́míkà

Ilana Iṣelọpọ:

Títẹ̀ Isostatic → síntering ní 1600°C → ìfọ́jú méjì tí ó péye láti ṣe àṣeyọrí àwọn ojú ìdènà tí ó tẹ́jú gidigidi, tí ó sì mọ́lẹ̀ → yíyí ẹ̀gbẹ́ → ìwẹ̀nùmọ́ ultrasonic. A ṣe ìdánwò 100% lórí ẹ̀rọ ìwádìí jíjìn helium pẹ̀lú gasket irin tí ó wọ́pọ̀.

Iṣakoso Didara:

• · Ṣíṣàyẹ̀wò ìwọ̀n CMM (ID, OD, sisanra, parallelism)
• · Profilometer oju ilẹ fun Ra ati waviness
• · Wiwọn fifẹ nipa lilo alapin opitika
• · Idanwo jijo helium (ọna titẹ-ẹhin)

Àwọn àǹfààní lórí àwọn òrùka O-polymer:

• · Diduro 800°C vs. <300°C fun FFKM
• · Kò sí ìbàjẹ́ gaasi — kò sí ìbàjẹ́ àyíká afẹ́fẹ́
• · Ó ń kojú gbogbo àwọn kẹ́míkà plasma (fluorine, chlorine, oxygen)
• · Ko si eto funmorawon tabi iyipada ti o wa titilai
• · Iṣẹ́ àìlópin ní àyíká mímọ́ tónítóní

Àwọn Ààlà (Àwọn Àkíyèsí Pàtàkì):

• · Kìí ṣe O-ring— ó jẹ́ òrùka seramiki líle tí ó nílò gasket rírọ (bàbà, aluminiomu, tàbí graphite) láti fi dí i.
• · Kò gba ìṣípopadà oníyípadà tàbí àṣìṣe flange ńlá.
• · Iye owo ibẹrẹ ti o ga ju awọn oruka O-polymer lọ, ṣugbọn igbesi aye gigun dinku idiyele nini.
• · Bíburú — fi ọwọ́ mú pẹ̀lú ìṣọ́ra; yẹra fún ìkọlù ojú tàbí ìtẹ̀sí.

Àkíyèsí:Dátà tí a kọ lókè yìí tẹ̀lé tábìlì ohun ìní Al₂O₃ tí a pèsè. A kò pèsè dátà fún àwọn ohun èlò elastomeric kankan. Ọjà yìí jẹ́ òrùka èdìdì tí kò dúró, kì í ṣe òrùka O-ring elastomeric. Jọ̀wọ́ fìdí rẹ̀ múlẹ̀ bóyá èyí bá àwọn ohun tí o fẹ́ lò mu.