Alumina Seramiki Robot Arm fun Wafer Mu
Apá robot alumina seramiki ti St.Cera ni a ṣe láti inú Al₂O₃ (alumina) tó jẹ́ 99.8%. Ó so agbára flexural tó yàtọ̀ (361 MPa), líle gíga (16 GPa), àti ìwọ̀n kékeré (3.93 g/cm³), èyí tó mú kí apá tó fúyẹ́ díẹ̀ tí ó sì le koko fún ìyípadà wafer semiconductor. Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti ohun èlò náà (7.2×10⁻⁶/°C) bá silicon mu, èyí tó dín àìbáramu ooru kù nígbà tí a bá ń ṣe é.
Àwọn ìlànà pàtó (tí a gbé ka orí 99.8% Al₂O₃):
| Ohun ìní | Iye |
| Àwọ̀ | Eyín kékeré |
| Ìwọ̀n | 3.93 g/cm³ |
| Agbára Rírọ̀ | 361 MPa |
| Líle Vickers | 16 GPA |
| Modulu Young | 380 GPA |
| Ìgbékalẹ̀ Ooru | 32 W/m·k |
| Ìfẹ̀sí gbígbóná | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Agbára Dielectric | 15×10⁶ V/m |
Awọn ohun elo:
- Àwọn roboti gbigbe wafer onígbàfẹ́ (200mm/300mm)
- Awọn eto mimu oju-aye
- Awọn apa ipa ipari fun adaṣe FAB
Ilana Iṣelọpọ:
Isostatic titẹ → alawọ ewe machining → sintering ni 1600°C → CNC conception grinding → ultrasonic cleaning → Class 100 cleanroom boxing. CMM ṣe àyẹ̀wò apá kọ̀ọ̀kan 100% fún fífẹ̀ (±0.01 mm) àti ìfọ́jú ojú ilẹ̀ (Ra ≤0.4 μm).
Iṣakoso Didara:
A ti gba iwe eri ISO 9001:2015 lati St.Cera. A n se idanwo fifa awọ fun awọn kikuru kekere, titẹ awọn aaye mẹta fun agbara rọ, ati idanwo agbara dielectric gẹgẹbi ASTM D149.
Àwọn àǹfààní lórí àwọn apá irin:
- 50% fẹẹrẹ ju irin alagbara lọ
- Ko si ipata galvanic
- Ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò ìpakúpa kékeré (≤0.05 àwọn ohun èlò/cm²)
- Àwọ̀ ESD tí ó ní ààbò (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Ṣíṣe àtúnṣe:
Gígùn láti 150mm sí 450mm, àwọn ìrísí orí (ìgbámú etí, Bernoulli, vacuum), àti àwọn àpẹẹrẹ flange tí a fi so mọ́ àwọn àwòrán OEM. Àwọn àpẹẹrẹ ní ọ̀sẹ̀ méjì.
Fun awọn aṣẹ pupọ, jọwọ beere fun idiyele kan.
