Bernoulli Ceramic Effector — Ìmúlò Wafer Tí Kò Ní Kan Síra Fún Àwọn Wafer Tínrin àti Tí Ó Rọrùn

Ẹ̀rọ ìparí seramiki Bernoulli ti St.Cera lo aerodynamic lift láti gbá àwọn wafers láìsí ìfọwọ́kan ara. A ṣe é láti inú alumina gíga 99.8% (Al₂O₃) tàbí silicon carbide (SiC), ó ní àwọn nozzles tí a fi ẹ̀rọ ṣe tí ó ń yọ gaasi tí a fi agbára tẹ̀ jáde láti ṣẹ̀dá fíìmù afẹ́fẹ́ tín-ín-rín láàárín olùṣe ìparí àti wafer náà. Ìlànà tí kò ní ìfọwọ́kan yìí ń mú kí ìbàjẹ́ ẹ̀yìn, ìfọ́ etí, àti ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ kúrò, èyí tí ó mú kí ó dára fún àwọn wafer tín-ín-rín (≤100 μm), àwọn wafer tí ó jẹ́ ẹlẹ́gẹ́, tàbí tí ó yípo. Sọ́fítíkì náà ń fúnni ní agbára ìfọ́ gíga (361 MPa fún Al₂O₃; títí dé 550–600 MPa fún SiC), ìwọ̀n tí ó kéré, àti ìdúróṣinṣin oníwọ̀n tí ó tayọ, tí ó ń rí i dájú pé a ń tún un ṣe nínú àwọn roboti gbigbe wafer iyara gíga.

Akiyesi lori Awọn Ohun elo:Alumina (Al₂O₃) ni ohun elo ti a lo julọ fun awọn oluyipada opin seramiki ninu mimu wafer semiconductor nitori apapọ rẹ ti lile, idabobo ina, iduroṣinṣin kemikali, ati imunadoko-owo. Silicon carbide (SiC) nfunni ni agbara ooru ti o ga julọ, lile ti o ga julọ, ati paapaa resistance yiya ti o dara julọ fun awọn ohun elo ti o nilo julọ. Lakoko ti yttria-stabilized zirconia (ZrO₂) nfunni ni agbara fifọ giga ni iwọn otutu yara, a ko lo o nigbagbogbo ninu ohun elo yii nitori iwuwo giga rẹ ati awọn abuda imugboro ooru oriṣiriṣi; o le ṣe akiyesi fun awọn ipo kan pato nibiti a nilo agbara fifọ alailẹgbẹ. Jọwọ kan si ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa fun itọsọna yiyan ohun elo.

Àwọn ìlànà pàtó(da lori 99.8% Al₂O₃):

Ilana Iṣiṣẹ:

Afẹ́fẹ́ tàbí nitrogen tí a fi sínú omi (0.2–0.6 MPa) ni a ń pèsè nípasẹ̀ àwọn ọ̀nà inú àti àwọn ìjáde nípasẹ̀ àwọn ihò tí ó péye. Afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́ tí ó yára ń ṣẹ̀dá agbègbè ìfúnpá kékeré tí ó wà lókè olùṣe ìparí (ìpa Bernoulli), tí ó ń mú agbára ìgbéga tí ó ń gbé wafer ró ní àlàfo 50–200 μm. Kò sí ihò tàbí àwọn pádì tí ó kan ẹ̀yìn wafer náà.

Awọn ohun elo:

• · Ìmúlò wafer tinrin (≤50 μm) lẹ́yìn lílọ ẹ̀yìn
• · Gbigbe wafer ti o ni abawọn (fun apẹẹrẹ, lẹhin CVD tabi fifin)
• · Gbigbe sẹẹli oorun ati ipilẹ sapphire LED
• · Adaṣiṣẹ yara mimọ ti ko nilo iṣelọpọ patiku odo
• · Mimu awọn paneli gilasi ṣiṣẹ ni iṣelọpọ ifihan

Ilana Iṣelọpọ:

Sẹ́ẹ̀tì seramiki tí a fi lulú mímọ́ tónítóní ṣe → ẹ̀rọ CNC oní-axis 5 ti àwọn ikanni gaasi àti ihò ihò (ìwọ̀n iwọ̀n 0.3–1.0 mm, ìfaradà ±0.01 mm) → ìfàmọ́ ojú ilẹ̀ sí Ra ≤0.4 μm → ìwẹ̀nùmọ́ ultrasonic → ìdánwò jíjó helium (àwọn ikanni gaasi). Kò sí ìbòrí tí a nílò — ojú seramiki tí kò ní ìta kò ní ìbàjẹ́, kò sì ní èérí.

Iṣakoso Didara:

• · Ayẹwo iwọn 100% (CMM) ti awọn ipo awọn ihò, gigun apa, ati fifẹ
• · Idanwo iṣọkan sisan afẹfẹ: idinku titẹ ≤5% kọja gbogbo awọn nozzles
• · Idanwo jijo: awọn ikanni gaasi ti a di mọ ni 0.6 MPa, ko si idinku titẹ lori awọn aaya 30
• · Ayẹwo oju labẹ maikirosikopu 20× fun awọn kikan tabi awọn fifọ kekere

AÀwọn àǹfààní tó ju àwọn olùṣe ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ìfọwọ́sowọ́pọ̀ lọ:

• · Kò sí ìbàjẹ́ ẹ̀yìn wafer — kò sí ìfọwọ́kan ẹ̀rọ
• · Kò sí ìfọ́ tàbí ìfọ́ àwọn wáfárì tín-tín
• · Ó ń tọ́jú àwọn wáfárì onígun mẹ́rin (tó tó 1 mm) pẹ̀lú àlàfo tó dúró ṣinṣin
• · Pa ẹ̀rọ amúlétutù àti ìtọ́jú chuck oníhò run kúrò
• · Ìkọ́lé seramiki lòdì sí ìbàjẹ́ àti ìkọlù kẹ́míkà

Ṣíṣe àtúnṣe:

• · Ó wà fún ìwọ̀n 200 mm, 300 mm, tàbí àwọn ìwọ̀n wafer tí a ṣe àdáni
• · Àwọn àpẹẹrẹ ìdènà gaasi: àwọn irú ìdènà gígùn, onígun mẹ́rin, tàbí ìyípo
• · Àwọn ohun èlò: alumina (boṣewa) tàbí silikoni carbide (fún agbára ìgbóná tó ga jùlọ àti ìdènà ìwúwo)
• · Gígùn apá, flange ìsopọ̀, àti ipò ibudo gaasi fún àwòrán OEM kọ̀ọ̀kan

Awọn idiwọn:

Ìmúṣe ìlànà Bernoulli (àwòrán nozzle, àlàfo afẹ́fẹ́) kọjá ààlà àwọn tábìlì ohun èlò tí a pèsè. Àwọn ohun ìní ẹ̀rọ àti ooru tí a kọ sí òkè yìí tẹ̀lé àwọn ìwé àkọsílẹ̀ tí a pèsè fún 99.8% Al₂O₃. A kò retí ìbàjẹ́ iṣẹ́ seramiki lábẹ́ ìṣàn gaasi tí a fi agbára tẹ̀ nítorí àwọn ohun ìní ohun èlò wọ̀nyí. Fún àwọn wafers tí ó ní ìmọ̀lára sí ìṣàn gaasi (fún àpẹẹrẹ, MEMS pẹ̀lú àwọn ohun èlò tí ó jẹ́ ẹlẹgẹ́), a gbọ́dọ̀ ṣàtúnṣe ìfúnpá gaasi àti àwòrán nozzle gẹ́gẹ́ bí ó ti yẹ.