Oruka Idojukọ Iyẹwu Alumina Giga-Gíga fun Awọn Eto Etch Plasma & CVD

Oruka idojukọ yàrá St.Cera jẹ́ ohun èlò ìṣiṣẹ́ pàtàkì tí a ń lò nínú ẹ̀rọ ìtẹ̀wé plasma, CVD, àti PVD semiconductor. A ṣe é láti inú 99.8% alumina gíga (Al₂O₃), òrùka náà yí etí wafer ká láti dín plasma kù kí ó sì mú kí ìpínkiri igun ion dára síi, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń mú kí ìṣọ̀kan etch pọ̀ síi lórí ojú wafer náà. Ohun èlò náà ní agbára ìdènà plasma tí ó tayọ, agbára dielectric gíga (15×10⁶ V/m), àti ìdúróṣinṣin ooru títí dé 1600°C, èyí tí ó ń rí i dájú pé ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún ìgbà pípẹ́ nínú àwọn àyíká plasma tí ó ní fluorine tàbí chlorine. ID/OD ilẹ̀ tí ó péye àti fífẹ̀ (≤10 μm) ń jẹ́ kí ipò etí wafer tí ó péye, tí ó ń dín àwọn àbùkù etí àti ìṣẹ̀dá pàǹtí kù.

Àwọn ìlànà pàtó(da lori 99.8% Al₂O₃):

Awọn ohun elo:

• · Àwọn òrùka ìfọwọ́sowọ́pọ̀ yàrá ìfọ́mọ́ra Dielectric (oxide, nitride etch)
• · Àwọn òrùka etí yàrá silikoni etch
• · Àwọn òrùka iṣẹ́ yàrá CVD
• · Apata iyẹwu PVC ati awọn oruka dimole

Ilana Iṣelọpọ:

A tẹ lulú alumina mímọ́ tó ga jùlọ ní ọ̀nà tó yàtọ̀ sí ara wọn → a fi ewé ṣe ẹ̀rọ aláwọ̀ ewé sí ìrísí tó sún mọ́ ààyò → a fi sín in ní 1600°C → CNC diamond grinding of ID, OD, and circulating → lapping láti dé pẹrẹsẹ ≤10 μm → ultrasonic cleaning → 100% CMM view. Ipari oju Ra ≤0.4 μm dinku clutch stitching.

Iṣakoso Didara:

• · Ayẹwo iwọn 100% (ID, OD, sisanra, parallelism)
• · Idanwo wíwọ àwọ̀ fún àwọn ìfọ́ kékeré (kò gbà láàyè láti fọ́)
• · Ayẹwo oju labẹ maikirosikopu 20× — ko si awọn eerun, awọn ofo, tabi iyipada awọ
• · Idanwo agbara Dielectric fun ASTM D149 (iṣapẹẹrẹ)

Àwọn àǹfààní lórí àwọn òrùka ìfojúsùn sílíkónì tàbí quartz:

• · Ìgbésí ayé gígùn tó 5–10× nínú pilasima fluorocarbon
• · Ko si awọn patikulu ibajẹ ti o le jẹ lati ba awọn wafer jẹ
• · Agbara dielectric ti o ga julọ ṣe idiwọ arcing
• · N ṣetọju fifẹ ati deede iwọn lori ẹgbẹẹgbẹrun awọn wakati RF

Ohun Èlò Míràn — Yttria-Stable Zirconia (ZrO2)₂):

Fún àwọn ohun èlò tí ó nílò agbára ìfọ́ egungun gíga (fún àpẹẹrẹ, àwọn yàrá tí ó ní ìyípo ooru déédéé tàbí ìkọlù ẹ̀rọ), àwọn òrùka ìfọ́ egungun ZrO₂ (ìwọ̀n 6.03 g/cm³, agbára ìfọ́ egungun 1000 MPa, agbára ìfọ́ egungun 5–8 MPa·m¹/²) wà. Síbẹ̀síbẹ̀, alumina ní agbára ìnáwó tó dára jù, ó sì jẹ́ ìwọ̀n iṣẹ́ fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ohun èlò ìfọ́ egungun.

Ṣíṣe àtúnṣe:

• · Gbé àwọn profaili ìgbésẹ̀, àwọn ihò ìdènà, tàbí àwọn ihò ìfìsórí fún àwòrán oníbàárà kọ̀ọ̀kan
• · Ìbòrí Y₂O₃ fún ìdènà ìfọ́ omi inú ẹ̀jẹ̀ (nínípọn 20–100 μm)
• · Àmì léésà ti nọ́mbà apá kan, kódù ọjọ́, tàbí àmì ìtòlẹ́sẹẹsẹ

Àkíyèsí:Gbogbo data naa tẹle tabili ohun-ini Al₂O₃ ti a pese ni pipe. Fun awọn alaye ZrO₂, wo iwe data zirconia ti a pese. Awọn apẹrẹ oruka idojukọ le nilo ifọwọsi iwe-aṣẹ - awọn alabara ni o ni iduro fun ṣiṣeduro awọn ẹtọ ohun-ini ọgbọn.