-
Alumina Seramiki Robot Arm fun Wafer Mu
Apá robot alumina seramiki ti St.Cera ni a ṣe láti inú Al₂O₃ (alumina) tó jẹ́ 99.8%. Ó so agbára flexural tó yàtọ̀ (361 MPa), líle gíga (16 GPa), àti ìwọ̀n kékeré (3.93 g/cm³), èyí tó mú kí apá tó fúyẹ́ díẹ̀ tí ó sì le koko fún ìyípadà wafer semiconductor. Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti ohun èlò náà (7.2×10⁻⁶/°C) bá silicon mu, èyí tó dín àìbáramu ooru kù nígbà tí a bá ń ṣe é.
-
Bernoulli Ceramic Effector — Ìmúlò Wafer Tí Kò Ní Kan Síra Fún Àwọn Wafer Tínrin àti Tí Ó Rọrùn
Ẹ̀rọ ìparí seramiki Bernoulli ti St.Cera lo aerodynamic lift láti gbá àwọn wafers láìsí ìfọwọ́kan ara. A ṣe é láti inú alumina gíga 99.8% (Al₂O₃) tàbí silicon carbide (SiC), ó ní àwọn nozzles tí a fi ẹ̀rọ ṣe tí ó ń yọ gaasi tí a fi agbára tẹ̀ jáde láti ṣẹ̀dá fíìmù afẹ́fẹ́ tín-ín-rín láàárín olùṣe ìparí àti wafer náà. Ìlànà tí kò ní ìfọwọ́kan yìí ń mú kí ìbàjẹ́ ẹ̀yìn, ìfọ́ etí, àti ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ kúrò, èyí tí ó mú kí ó dára fún àwọn wafer tín-ín-rín (≤100 μm), àwọn wafer tí ó jẹ́ ẹlẹ́gẹ́, tàbí tí ó yípo. Sọ́fítíkì náà ń fúnni ní agbára ìfọ́ gíga (361 MPa fún Al₂O₃; títí dé 550–600 MPa fún SiC), ìwọ̀n tí ó kéré, àti ìdúróṣinṣin oníwọ̀n tí ó tayọ, tí ó ń rí i dájú pé a ń tún un ṣe nínú àwọn roboti gbigbe wafer iyara gíga.
-
Agbára Ìparí Seramiki Tí A Fi Teflon Bo – Ilẹ̀ Tí Kò Lẹ́sẹ̀ fún Mímú Wafer Onímọ̀lára
Aṣọ ìparí seramiki tí a fi Teflon (PTFE) bo St.Cera so ohun èlò alumina tí ó lágbára púpọ̀ pọ̀ mọ́ aṣọ ìparí PTFE kan tí ó ní ìrísí ìrísí tí kò ní ìrísí (ní ìwọ̀n 15–30 μm). Aṣọ ìparí náà ní ìwọ̀n ìrísí tí kò pọ̀ rárá (≤0.1), ìdènà kẹ́míkà tí ó dára jùlọ, àti àwọn ànímọ́ tí kò ní ìrísí, tí ó ń dènà ìdènà wafer àti yíyọ ìbàjẹ́ ẹ̀yìn kúrò. Aṣọ ìparí seramiki tí ó wà lábẹ́ rẹ̀ (99.8% Al₂O₃) ní agbára ìfọ́síwájú gíga (361–1000 MPa), ìdènà ìfàsẹ́yìn, àti ìdúróṣinṣin ooru títí dé 260°C (ààlà ìbòrí). Aṣọ ìparí yìí dára fún mímú àwọn wafer onírẹ̀lẹ̀, tín-tín, tàbí tí ó lẹ̀ mọ́ra (fún àpẹẹrẹ, lẹ́yìn ìbòrí photoresist tàbí àwọn ìlànà kẹ́míkà).
