Aṣọ ìfọṣọ seramiki ti ko ni iho fun mimu Wafer ti o ni iyipo
A ṣe àgbékalẹ̀ ìkòkò seramiki oníhò tí ó ní alumina tí ó ní ìpìlẹ̀ tó ga jùlọ pẹ̀lú ihò oníhò tí ó ṣí sílẹ̀ tí ó tó 30–45% àti ìwọ̀n ihò láti 10 sí 100 μm. Láìdàbí àwọn ìkòkò oníhò tí a ti ṣe tẹ́lẹ̀, ojú ilẹ̀ oníhò náà ń pèsè ìkòkò tí a pín káàkiri gbogbo ẹ̀yìn wafer, ó ń di àwọn wafer tí ó yípo, tín-tín, tàbí tí a ti fi sí ara wọn mú láìsí gbígbé eékún tàbí ìfọ́. Ìkòkò oníhò tí ó rọrùn (tí a lè ṣàtúnṣe nípasẹ̀ ohun tí ó ń dínkù) tún ń dènà àmì ẹ̀yìn.
Àwọn ìlànà pàtó(da lori 99.6% Al₂O₃):
| Ohun ìní | Iye |
| Porosity | 30–45% |
| Ìwọ̀n Àárín Póólù | 10–100 μm (ó ṣeé yan) |
| Agbára Rírọ̀ | ≥250 MPa |
| Pípẹ́ (ju 300mm lọ) | ≤5 μm |
| Ipari oju ilẹ | A ti fi ààlà (Ra 0.8 μm) |
| Ipele Igbale Ti o pọju | -80 kPa |
| Iṣiṣẹ otutu | 400°C (afẹ́fẹ́), 600°C (aláìsí) |
| Ohun èlò | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, tabi SiC |
Awọn ohun elo:
lílọ ẹ̀yìn wafer tinrin (≤50 μm)
Ìgbékalẹ̀ wafer tí a yípo fún dídì
Gbigbe die ti a fi sinimá ṣe lati inu teepu
Mimu iboju gilasi mu
Iṣelọpọ & Didara:
A fi ìyẹ̀fun seramiki dapọ̀ mọ́ àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra oní-ẹ̀rọ → a tẹ̀ → a fi síntì → a fi síntì sọ́rí títí dé ìwọ̀n tó yẹ. A fi ìdánwò ìṣàn kọ̀ọ̀kan fún ìṣọ̀kan afẹ́fẹ́ (≤5% ìyàtọ̀) a sì ṣe àyẹ̀wò fún ìpínkiri ìwọ̀n ihò (SEM). A fi ẹ̀rọ amúlétutù lésà wọ̀n pẹ̀lẹ́pẹ̀lẹ́.
Awọn anfani lori awọn Chucks Grooved:
Ko si siṣamisi eti wafer tabi iyipada die
Ó di àwọn wáfárì tí ó yípo mú (tó tó 500 μm bow)
Ó ń mú kí ìdènà ihò afẹ́fẹ́ kúrò
Atilẹyin ipele ara ẹni fun awọn sobusitireti tinrin
Ṣíṣe àtúnṣe:
Àwọn ìrísí yíká tàbí onígun mẹ́rin, tí ó tó 600 mm. A lè lo òrùka ìdìmú etí tàbí àwọn ìpín ìfọ́mọ́ agbègbè. Àwọn ìrísí irin tí a fi irin ṣe wà fún àwọn ìbéèrè líle gíga.
Beere fun apẹẹrẹ fun iwọn wafer rẹ ati idanwo warpage rẹ.
