-
Awọn ẹya seramiki Alumina Giga-Precision Oruka seramiki
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
ST.CERA Ohun elo Semiconductor ti a ṣe adani ti awọn ohun elo seramiki
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
Ohun èlò ìparí seramiki Silicon Carbide (SiC) – Gíga gíga fún mímú Wafer ní ìwọ̀n otútù gíga
A ṣe apẹja ìpari seramiki ti St.Cera lati inu ohun elo silikoni carbide ti o ni mimọ pupọ (SiC akoonu 99.72%, Si 0.05%) ni lilo ohun elo S1111. O ni awọn agbara ẹrọ ti o tayọ: agbara flexural 449 MPa (ti a wọn), modulus rirọ 457 GPa (ti a wọn), ati lile Vickers 25–28 GPa (ti a ṣe deede). Iwọn iwuwo kekere (3.10–3.15 g/cm³, ti a ṣe deede) pese lile pataki kan, ti o dara julọ fun awọn robot gbigbe wafer iyara giga. Pẹlu agbara ooru ti 120–150 W/m·K (ti a ṣe deede) ati iye imugboroosi ooru ti 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ti a ṣe deede), apẹja opin yii n tu ooru kuro daradara o si n ṣetọju iduroṣinṣin iwọn lakoko mimu otutu giga (titi de 1600–1700°C, laisi ẹru). Awọ dudu/grẹy ati gbigba omi odo rii daju pe yara mimọ ni ibamu.
-
Ohun èlò ìfọṣọ onírin tí a fi silicon Carbide (SiC) ṣe fún àwọn àyíká tí ó ní ìwọ̀n otútù gíga àti plasma
A ṣe àgbékalẹ̀ seramiki ti a fi SiC ṣe láti inú ohun èlò irin alagbara ti silikoni (batch S1111, SiC 99.72%, free Si 0.05%). Ó ń fúnni ní agbára ìfọ́ tí a wọ̀n ti 449 MPa, líle ìfọ́ ti 3.12 MPa·m¹/², àti modulus rirọ ti 457 GPa. Ìlànà ooru tí ó wọ́pọ̀ tí ohun èlò náà ní (120–150 W/m·K) àti ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ń jẹ́ kí ìlọsókè otutu yára kíákíá àti wíwọ́ wafer díẹ̀ nígbà yíyípo ooru. A lè ṣe àgbékalẹ̀ chuck náà gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìfọ́ oníhò (ìṣàn gaasi kan) tàbí ohun èlò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ tí a fi gún régé. Pẹ̀lú ìwọ̀n otútù lílò tí ó pọ̀ jùlọ ti 1600–1700°C (kò sí ẹrù) àti agbára ìfọ́ plasma tí ó tayọ, ohun èlò yìí dára fún ṣíṣe wafer oníwọ̀n otútù gíga (annealing, RTP) àti àwọn yàrá etch oníjàgídíjàgan níbi tí àwọn ohun èlò alumina ti ń bàjẹ́.
-
Ohun elo Semiconductor Awọn ẹya ara Seramiki Awọn ọkọ Seramiki
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
Oruka lilọ seramiki ti a fi irin ṣe fun irin fun awọn ohun elo fifa lile giga
Òrùka ìlọ alumina onírin St.Cera so ìpele ìfọwọ́sowọ́pọ̀ alumina oníwà mímọ́ gíga (99.8% Al₂O₃) pẹ̀lú àtìlẹ́yìn irin tí a fi irin ṣe (ní pàtàkì aluminiomu tàbí irin alagbara). Apẹẹrẹ àdàpọ̀ yìí ń pese ìdènà ìfọwọ́sowọ́pọ̀ àti àìlera kẹ́míkà ti seramiki lórí ilẹ̀ ìlọ, nígbàtí ìpìlẹ̀ irin náà ń fi agbára ẹ̀rọ kún un, ìsopọ̀ tí ó rọrùn, àti ìdènà sí ìfọ́ tí ó bàjẹ́. Ìpele alumina náà ń fúnni ní agbára ìfọ́ ti 361 MPa, líle Vickers ti 16 GPa, àti ìdúróṣinṣin ooru títí dé 800°C. A ṣe àtúnṣe ìpìlẹ̀ irin náà pẹ̀lú àwọn ihò ìsopọ̀, àwọn pinni ibi tí a ti lè rí, tàbí àwọn ohun-ìní oofa fún ìsopọ̀ mọ́ àwọn ẹ̀rọ ìfọ́, àwọn ohun èlò ìlọ pílánẹ́ẹ̀tì, àti àwọn ohun èlò CMP.
-
Àwọn Ohun Èlò Ìtọ́jú Abẹ́rẹ́ Símíkì fún Ẹ̀rọ Ìtọ́jú Abẹ́rẹ́ Símímíkì
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
Ṣíṣe àdáni ti Al2O3 seramiki wafer Chuck
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
ST.CERA Ohun elo Semiconductor ti a ṣe adani Awo Seramiki
A ṣe é nípa títẹ isostatic tútù tí a sì fi síntì lábẹ́ ooru gíga, lẹ́yìn náà a fi ẹ̀rọ tí ó péye ṣe é tí a sì fi dán an wò, àwọn ohun èlò ìtọ́jú seramiki náà lè bá àwọn ohun èlò semiconductor mu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ bíi resistance yíyà, resistance ipata, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó lọ sílẹ̀, àti ìdábòbò. Àwọn ohun èlò seramiki lè ṣiṣẹ́ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor pẹ̀lú ipò otutu gíga, vacuum tàbí corrosion gaasi fún ìgbà pípẹ́.
A ṣe é láti inú lulú alumina tó mọ́ tónítóní, tí a fi ìtẹ̀sí isostatic tútù ṣe, síntering otutu tó ga àti ìparí pípé, ó lè dé ìfaradà ìwọ̀n sí ±0.001 mm, ìparí ojú ilẹ̀ Ra 0.1, ìfaradà otutu sí 1600℃.
-
Ẹ̀rọ ìpamọ́ alumina 12-Inch fún ìtọ́jú wafer 300mm
A ṣe àgbékalẹ̀ ìfọ́mọ́ ìfọ́mọ́ ìyẹ́n 12 ti St.Cera láti inú alumina gíga-gíga (Al₂O₃) fún mímú wafer 300mm. Iṣẹ́ náà ní ojú ilẹ̀ tí a fi àlàfo gún (ìwọ̀n ihò 0.5–1.0 mm, ìpele 2–3 mm) láti rí i dájú pé a pín in sí gbogbo ìwọ̀n 300mm. A ń tọ́jú rẹ̀ dáadáa láàrín 5 μm, èyí tí ó ń jẹ́ kí a lè fi wafer tí kò ní ìfọ́mọ́ nígbà tí a bá ń gé e, tí a ń lọ̀ sí ẹ̀yìn, àti tí a ń ṣe àyẹ̀wò rẹ̀. Agbára ìfọ́mọ́ ìfọ́mọ́ ìyẹ́n gíga ti ohun èlò náà (361 MPa) àti líle (16 GPa) ń ṣe ìdánilójú ìdúróṣinṣin oníwọ̀n ìgbà pípẹ́ kódà lábẹ́ àwọn ìyípo ìfọ́mọ́ tí a ń tún ṣe.
-
Alumina Ceramic Effector pẹlu Integrated Vacuum Channels
Ẹ̀rọ ìfàsẹ́yìn alumina vacuum ti St.Cera ń so àwọn ikanni vacuum tí a fi ẹ̀rọ ṣe àti àwọn ihò fífà sínú ara alumina tí ó ní ìmọ́tótó gíga 99.8%. Apẹẹrẹ yìí ń mú àwọn pádì vacuum tí ó wà níta kúrò, èyí tí ó ń jẹ́ kí a gba wafer direct pickup pẹ̀lú agbára ìdúróṣinṣin kan náà. Agbára flexural gíga ti ohun èlò náà (361 MPa) àti líle (16 GPa) ń rí i dájú pé ó dúró ṣinṣin ní ìwọ̀n gígùn lábẹ́ àwọn ìyípo vacuum tí a ń tún ṣe. A ń pa ibi tí a fi pad ṣe mọ́ láàrín 10 μm, èyí tí ó ń dènà wahala wafer àti ìfọ́. Àwọn ibùdó vacuum wà ní flange ìfìkọ́lé ẹ̀yìn fún ìsopọ̀ pẹ̀lú àwọn apá robot OEM.
-
Àwọn Ẹ̀yà Seramiki Alumina Ailewu ESD fún Mímú Wafer Onímọ̀lára Láìdúró
Àwọn ẹ̀yà seramiki alumina tó ní ààbò ESD (electrostatic discharge) tí St.Cera ṣe ni a fi 99.8% Al₂O₃ tó ní ìmọ́tótó gíga, tí a ṣe nípasẹ̀ ìlànà doping tàbí coating. Àwọn ẹ̀yà wọ̀nyí máa ń tú agbára ìdúróṣinṣin kúrò, wọ́n sì ń dènà ìbàjẹ́ electrostatic sí àwọn wafers semiconductor tó ní ìmọ̀lára àti àwọn ẹ̀rọ. Ohun èlò ìpìlẹ̀ náà máa ń ní agbára ìfọ́mọ́ra gíga (361 MPa), líle (16 GPa), àti agbára dielectric (15×10⁶ V/m). Àwọn ẹ̀yà seramiki tó ní ààbò ESD ní àwọn ohun èlò ìparí, àwọn pinni gbígbé, àwọn irin ìtọ́sọ́nà, àti àwọn ohun èlò àdáni fún ìdánilẹ́kọ̀ọ́ FAB.
